S razvojem kineske industrije poluvodiča, razvoj ključnih komponenti za procesnu opremu postao je kritično ograničenje za razvoj opreme. Kako poziv za lokalizacijom domaće tehnologije poluvodiča postaje sve jači, sve će više tehnologija uskih grla u industriji poluvodiča biti prevladano. Na temelju dugogodišnjeg iskustva u industriji poluvodiča, naša je tvrtka razvila servo motor sa -osovinom velike{3}}brzine za adsorpciju pločica u opremi za oblaganje poluvodiča, razvijanje i čišćenje. Ovaj motor odlikuje se velikim ubrzanjem, širokim rasponom brzina i visokim odzivom te su ga naširoko hvalili kupci u industriji.
Primjene servo motora-sa šupljim vratilom:
Oprema za ekspoziciju i razvijanje (premazivanje, razvijanje): Glavna oprema za procese fotolitografije, kontroliranje premazivanja, ekspozicije i razvijanja.
Oprema za čišćenje, premazivanje, razvijanje i uklanjanje filma.
Prikladno za čišćenje fizičkim ispiranjem, čišćenje česticama i postupke raspršivanja.
Specifikacije proizvoda i područja primjene servo motora sa šupljim vratilom:
750W/1000W – 5000, 6000 o/min
Područja primjene (vr-modeli):
8-inčna i 12-inčna poluvodička oprema.
Postupci kao što su premazivanje, razvijanje, čišćenje i jetkanje.
Maksimalno ubrzanje može doseći trenutno ubrzanje od 50000 R/S².
Posebna konstrukcija kraja osovine osigurava najniži koeficijent odstupanja opterećenja na kraju osovine.
